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压电偏摆台 ║P342S

产品参数
运动轴 θX,θY
行程 2mrad
分辨率 0.04μrad
外形尺寸 Ф59x56mm
结构类型 机构直驱式差分结构

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压电偏摆台 ║P342S是采用压电陶瓷驱动的二维纳米级精密光束压电偏转镜,压电偏摆镜内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电偏摆台压电偏摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电偏摆台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。紧凑型设计,可更好的集成于光学系统中。可根据用户需求定制固定及出线方式。

◆ 外形尺寸:Φ59x56mm

◆ 可提供外形尺寸:Φ49x56mm版本

◆ 行程为2mrad,分辨率为0.04μrad;

◆ 采用无摩擦、无回差紧凑的差分式并联结构柔性导向系统,具有超高的导向精度;

◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择,可提供定制安装及出线方式。

多轴偏摆系统运动学


研生公司的压电偏摆系统基于所有运动轴在单一移动平台并联运动。该系统可实现比两个单轴串联系统具有更高的线性度,且这种并联结构外形尺寸更加紧凑。压电偏摆镜和压电偏摆平台适用于高度动态操作,例如追踪、扫描、图像稳定、消除漂移和振动;同时也适用于光学系统和标本的静态定位。研生的压电偏摆系列产品可使光束偏转至120mrad(甚至更大偏转角)、几微秒的极短响应时间和可达纳弧度范围的分辨率。研生提供多种大范围偏转角的紧凑型激光束偏转控制系统。


差动压电陶瓷驱动的偏摆系统(四脚支架)

平台由一对彼此呈90°角的压电陶瓷致动器控制。四个致动器根据偏摆方向两两单独控制。由于偏摆轴θX和θY成正交设置,因此无需坐标系变换。这种差分式结构的设计优点为在较大温度变化范围内保持完美的位置/角度稳定性。每个运动轴配置两个传感器,确保偏摆位置的稳定性,并提供了更好的线性度和分辨率。

具有差动压电驱动的倾斜系统的原理



压电偏摆镜动力学

压电偏摆系统的最大工作频率取决于它的机械谐振频率。

为了估计系统的有效谐振频率,需计算出反射镜的转动惯量。

  

圆形反射镜的转动惯量计算公式如下:


矩形反射镜的转动惯量计算公式如下:


反射镜重量 [g]

IM 反射镜的转动惯量 [g × mm²]

偏转轴正交的反射长度 [mm]

反射镜厚度 [mm]

到反射镜表面的距离 (参见各型号 >> 产品技术参数) [mm]

反射镜径 [mm]


带载反射镜的偏摆系统的谐振频率

根据已知的空载偏摆系统的谐振频率及转动惯量(参见 >> 产品技术参数)和计算得出的反射镜转动惯量,可通过如下公式计算得出整个偏摆系统的谐振频率。

 

带载反射镜的偏摆系统的谐振频率计算公式如下:


f' 反射镜的偏摆系统的振谐频率 [Hz]

f0 空载偏摆系统的振谐频率 [Hz]

I0 空载偏摆系统的转动惯量 (参见 >> 产品技术参数) [g × mm²]

IM 反射镜转动惯量 [g × mm²]

反射镜重量 [g]

专业知识与技术

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压电偏摆台 ║P342S

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